全自動離子濺射儀為一種有著緊湊結構的桌上型鍍膜系統,對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時,交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔,之后試樣復原,再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應氣體。
全自動離子濺射儀的常見故障及其解決方法:
1、當出現檢測器失效時如何解決
檢測器失效時的原因有4種:
①檢測器的插頭與主機板座松了;
②檢測器本身壞了;
③閥芯上的固定螺釘與電機轉動軸未緊固到位;
④閥芯本身太緊不能轉動。檢查的順序依次為③-①-④-②。
2、吸樣不暢的原因及處理方法:
吸樣不暢的原因主要有以下4種,沿著"由簡單到復雜"的思路來檢查;
①檢查管路各個接口(包括電之間的連管、電與閥之間、電與泵管之間)的連管有無漏氣,此種現象表現為不吸樣;
②檢查泵管是否粘連或過于疲勞,此時應更換新泵管。現象表現為泵管發出異常聲音;
③各管道內尤其是各接頭處有蛋白沉淀,此種現象表現為液速度過程定位不穩,即使換了新泵管也是樣,解決辦法為取下各接頭用水清洗干凈;
④閥本身有問題,要仔細地檢查。