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控溫勻膠機

簡要描述:實驗室加熱型勻膠機。光刻膠等均勻涂布在晶圓上的裝置,一種納米膜噴涂設備。

  • 產品型號:IC5000
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新日期:2024-11-06
  • 訪  問  量:1844

產品參數:
1.轉盤加熱控溫范圍:室溫-150℃
2.溫度分辨率:0.1℃
3.控溫精度:<±0.5℃(穩定后控溫精度)
4.轉盤溫度均勻性:<±2%
5.轉速范圍:100-5000rpm
6.轉速分辨率:±1rpm
7.加速度可調范圍:100-5000rpm/s
8.最大單步旋涂時長:3000s
9.時間分辨率:0.1s
10.最多可編程100組100步程序,更多可擴展
11.標配可調卡爪載物盤(10-30mm方片或圓片可調),其他規格可定制
12.外型尺寸:280mm(W)*404mm(D)*270mm(H)


IC5000控溫勻膠機是一款高性能實驗室勻膠機,采用了*進的設計理念,配合精密的運動控制系統,可以實現高精度、高均勻度的勻膠操作,并配有控溫系統,控溫均勻性好,可實現邊加熱邊勻膠功能,操作界面可存貯10組程序,每組程序可達10步。運行參數如轉速、轉動時間可實時顯示。


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